半導体用途向け加熱サービス

当社の加熱サービスの目的は、半導体顧客の主要機器および製造プロセスの熱性能を向上させ、国内半導体産業チェーンの研究開発を強化し、特に主要な材料、機器、技術の供給における外部サプライチェーンへの依存を軽減し、国内半導体産業の発展を促進することです。

暖房器具は以下の通りです。

1.マイカ加熱プレート:

2.半導体加熱ロッド：各種チャンバー加熱、各種ウェーハ処理、各種ガス輸送加熱に適用されます。

3.半導体加熱リング：高周波環境に適用されます。